電子束熔煉爐:電子束熔煉爐主要是利用電子束所發出的巨大熱能作為熔煉或合金的熱源進行冶煉。它與真空感應爐、.真空電弧爐所起的作用相同。由于熔煉的價格昂貴，所以只用于難熔金屬、活潑金屬或合金的熔煉。一般金屬大多在其它真空爐中冶煉。對于需要高溫以及對于要嚴格防止污染等特殊的場合下，有時也用電子束爐來熔解、精煉和鑄錠，其效果是很好的。
電子束熔煉爐與真空電弧爐的主要區別在于:在真空電弧爐中熔煉金屬或合金時，熱量的來源來自電極和自耗電極之間的電弧。而電子束熔煉爐中熔煉各種材料的熱量來源于電子槍發出的具有高能密度的電子束。電子束熔煉可以避免電極的污染，還可以保持熔池，從而可以進行徹底的純化，熔煉材料的形狀不受限制。
一般電子束熔煉爐由電子槍室和熔煉室組成。電子槍室可由機械泵和擴散泵排氣，以獲得10-4~10-6Torr的真空度。熔煉室可由機械泵、增壓泵和擴散泵組成或采用多級羅茨泵排氣,以獲得10-2~10-6Torr的真空度。
