(1)真空泵嚴禁無油工作。每夭應至少檢查一次油位,當油位低于最高油位標記時，須補加循環油到最高油位(max)。
(2)油牌號選擇。一般環境沮度為12~30℃之間，油的正常運轉溫度為75℃，宜選用VM100，BP Energol CS100，Shell Talpa G100等黏數為100的真空泵油。
(3)檢查油質狀況。每天檢查一次油質狀況，當油質惡化后應及時更換循環油。因工作條件不同，換油周期不等，一般首次為100h換油，之后500~2000h之間進行更換，最多換油周期不要超過半年。
(4)檢查排氣過濾器。在維護裝置的加油口上，裝有一個壓力表，用于測量排氣過濾器的壓力，當壓力>0.06MPa時需更換排氣過濾器;一般每月檢查一次，每年更換一次;
(5)注意觀察排氣口處油霧。工作過程中，當有油霧從排氣口處排出時，應檢查回油管是否堵塞，油分濾芯是否破損，或該處密封墊是否需要更換，密封墊一般隨濾芯的更換而更換。
(6)定期清理工作。空氣碟閥處的空氣濾芯需定期用壓縮空氣清理干凈，以防粉塵進入真空泵，檢杏濾芯密封與缸體之間是否有效。定期清理上料器內的錐體粉塵濾芯，空氣濾芯以及入口法蘭處的真空泵濾網等。清理后一定注意裝好各處的密封圈，尤其是濾芯固定蓋上的密封和上料器內部的粉塵濾芯，操作工必須定期清理，及時更換，確保原料的第一層過濾有效，否則，將有大量粉塵進入真空泵，后果極為嚴重。
