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有些真空工藝會產生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損，對泵轉子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法運行，如果灰塵進入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵埃的防止和過濾己成為延長真空系統的使用壽命，提高生產率的關鍵問題，在有塵埃的真空系統中，必須采用塵埃過濾器。

在灰塵量較少時，可以由泵油過濾系統濾除，但灰塵量較大時，為防止真空泵的損壞，保證真空泵的正常運轉必須使用除塵器。